硅片清洗機
技術(shù)參數(shù) Technical parameters
- ● 半導體器件生產(chǎn)中玻璃硅片微量污染也會導致器件失效。
- ● 清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機物和無機物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。
- ● 采用最新流行環(huán)保水基清洗工藝.該設計先進、合理,充分考慮了環(huán)保和節(jié)能的要求；
- ● 全封閉式結(jié)構(gòu)，運行部件設計防止污染;
- ● 清洗機框架和烘干爐內(nèi)均采用正壓送風形式, 保持運行時的風流始終外溢;
- ● 清洗區(qū)域與維護區(qū)域隔離開，確保潤滑油脂及運動磨損不會對清洗的產(chǎn)品產(chǎn)生二次污染;
- ● 有效保證工作室長期處于潔凈狀態(tài),從而保證產(chǎn)品的潔凈要求；
- ● 工位移載結(jié)構(gòu)能最大限度地減少輔助運行時間，保正工藝參數(shù)實施的準確性.
- ● 欲清洗工件放入料框內(nèi)專用固定夾內(nèi)，由人工將料框放上入料口，等工位機械手自動將料框送入清洗機本體，上下提升機構(gòu)依照PLC指定的程序?qū)⒘峡虬崴偷较鄳叨任恢茫?
- ● 完成對工件的清洗、噴淋、漂洗、慢提拉脫水和熱風干燥后、送至清洗機出口，運送到卸料臺出料；
- ● 等工位機械手由氣缸橫向驅(qū)動，直線滑軌導向；
- ● 上下提升由馬達驅(qū)動，直線導軸導向；慢提拉提升機構(gòu)由變頻馬達驅(qū)動，直線滑塊導向；
- ● 上下料由上下提升機構(gòu)獨立完成；
- ● 采用觸摸屏操作系統(tǒng),有手動和自動切換開關(guān)及有關(guān)操作按鈕，能對整個運行過程實行控制。
- ● 適用于硅片、水晶、光學玻璃、藍寶石、陶瓷等清除被加工物表面的油污、研磨切削液等
